手动硅片测试仪可以测量硅片厚度、总厚度变化、弯曲度,
,确保与其他工艺仪器的兼容与统一。
硅片无接触测试仪-产品特点
■ 无接触测量
■适用的晶圆材料包括Si,GaAs,,Ge等几乎所有的材料
■ 厚度和测量采用无接触电容法探
■ 高分辨率液晶屏显示厚度和值
■ 性价比高
■ 菜单式快速方便设置
■ 高分辨率液晶LCD显示
■ 提供和计算机连接的输出端口
■ 提供打印机端口
■ 便携且易于安装
■ 为晶圆硅片关键生产工艺提供准确的无接触测量
■ 高质量微处理器为准确和重复准度高的测量提供强力保障
■ 高质量聚四氟乙烯晶圆测试架,为晶圆硅片准确定位提供保障
■ 晶圆硅片导电型号:P 或 N型
■ 材料:Si,GaAs,Ge等几乎所有半导体材料
■ 可用在:切片后、磨片前、后,蚀刻,抛光以及出厂、入厂质量检测等
■平面/缺口:所有的半导体标准平面或缺口
■ 硅片安装:裸片,蓝宝石/石英基底,黏胶带
■ 连续5点测量