HS-TRM-100型无接触式电阻率型号测试仪是基于涡流(Eddy Current)测试技术,能够对硅料、硅棒、硅锭及硅片进行无接触、无损伤的体电阻率测试。
无接触式电阻率型号测试仪-产品特点
■ 测试范围广,低阻可测至0.001,,甚至0.0007,高阻可测至100,
■ 产品体积小,便于移动和携带
■ 采用涡流法测试硅锭、棒、回炉料体电阻率
■ 无接触、无损伤快速测试
■ 测试前无需表面处理
■ 特别对于多晶,能够有效避免晶界对测试的影响
■ 测试范围:0.001-100 ohm.cm (分段测试)
■ 可选加无接触型号测试功能
■ 可进行温度和厚度的修正